РИД
№ АААА-Г19-619070490022-6Способ изготовления омических контактов фотоэлектрического преобразователя
04.07.2019
Способ изготовления омических контактов фотоэлектрического преобразователя включает напыление на гетероструктуру A3B5 основы фронтального омического контакта через первую фоторезистивную маску с рисунком фронтального омического контакта и основы тыльного омического контакта, термообработку полученной структуры, формирование фронтального омического контакта через вторую фоторезистивную маску и тыльного омического контакта путем электрохимического осаждения золота в импульсном режиме при частоте импульсного сигнала 30-200 Гц, коэффициенте заполнения 0,2-0,5 сначала при плотности тока 0,002-0,005 мА/мм2 1-2 минуты, а затем при плотности тока 0,02-0,05 мА/мм2 до заданной толщины. Фронтальный омический контакт формируют через вторую фоторезистивную маску с суженным на 0,5-1 мкм рисунком фронтального омического контакта. Изобретение позволяет улучшить фотоэлектрические параметры фотоэлектрического преобразователя за счет уменьшения омических потерь.
ГРНТИ
44.41.35 Установки прямого преобразования энергии светового излучения в электрическую
Ключевые слова
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ
А3В5
Детали
Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Изобретение может быть использовано в электронной промышленности для преобразования световой энергии в электрическую энергию.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Заказчик
Российский научный фонд
Похожие документы
Способ изготовления омических контактов фотоэлектрического преобразователя
0.977
РИД
Способ изготовления омических контактов
0.928
РИД
Способ изготовления фотопреобразователя
0.927
РИД
Способ изготовления омических контактов к нитридным гетероструктурам на основе Si/Al
0.926
РИД
Способ изготовления фотоэлектрического преобразователя с антиотражающим покрытием
0.925
РИД
Способ изготовления фотоэлектрического преобразователя на утоняемой германиевой подложке
0.919
РИД
Способ изготовления омического контакта к AlGaN/GaN
0.916
РИД
Фотоэлектрический преобразователь
0.915
РИД
Способ формирования многослойного омического контакта к прибору на основе арсенида галлия
0.915
РИД
Способ изготовления фотоэлектрического преобразователя лазерного излучения
0.914
РИД