РИД
№ АААА-Г19-619091390018-5

Устройство для нанесения тонкопленочных покрытий.

13.09.2019

Устройство для нанесения тонкопленочных покрытий предназначено для нанесения с помощью плазменного факела покрытий на детали различных размеров. Достигаемым техническим результатом является повышение эффективности расхода напыляемого материала при напылении тонких пленок в случае объектов малых размеров и классов и больших протяженных объектов и повышение качества получаемых покрытий
ГРНТИ
47.49.31 Радиотехнические навигационные системы и устройства
47.05.17 Методы приема и обработки сигналов
Ключевые слова
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ПОКРЫТИЕ
ПЛАЗМЕННЫЙ
Детали

Тип РИД
Полезная модель
Сферы применения
нанесение с помощью плазменного факела покрытий на детали различных размеров.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации