Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параметров тонких плёнок, нанесенных на подложку конечной толщины

Устройство может быть использовано для бесконтактного оперативного измерения удельной электрической проводимости, а также диэлектрической и магнитной, проницаемостей материалов. Устройство состоит из генератора, выход которого подключен к входу излучателя электромагнитного сигнала, на пути следования электромагнитного сигнала к объекту контроля расположен разветвитель сигнала, первый выход которого электромагнитно соединен с приемником опорного сигнала, выход которого подключен к первому входу измерителя амплитуды и фазы, второй вход которого подключен к выходу приемника отраженного от объекта контроля сигнала, а третий вход подключен к выходу приемника сигнала прошедшего через объект контроля, в свою очередь выход измерителя амплитуды и фазы подключен к входу блока обработки и входу блока управления, выход которого подключен к генератору.