Устройство для изготовления нанометровых прозрачных пленок

Устройство для изготовления нанометровых прозрачных пленок, содержащее вакуумную камеру с оптическим окном, расположенные в вакуумной камере источник излучения видимого диапазона длин волн, испаритель материала с отверстием, рабочую подложку, контрольную подложку, отличающееся тем, что источник излучения установлен ниже плоскости отверстия испарителя материала, а контрольная подложка – выше плоскости упомянутого отверстия с обеспечением осаждения испаряемого материала и наблюдения ее поверхности через оптическое окно вакуумной камеры.