Способ получения тонкопленочных материалов на основе оксидов кремния, фосфора, кальция и магния

Способ получения тонкопленочных материалов на основе оксидов кремния, фосфора, кальция и магния включает приготовление пленкообразующего раствора, использующий в качестве растворителя этиловый спирт 96 мас.%, в присутствии добавки солей и кислот с дальнейшим нанесением раствора на поверхность кремниевой подложки и термообработку. Термообработку проводят в атмосфере воздуха при 800°С в течение одного часа, в качестве добавки используют фосфорную кислоту, нитрат кальция и нитрат магния. Изобретение обеспечивает снижение времени получения тонкопленочного материала и удаление примесных ионов из пленки.