Способ получения порошков пористого кремния

Сущность способа заключается в том, что получение наноразмерного порошка кремния обеспечивают травлением монокристаллического кремния в ячейке электрохимического травления с контрэлектродом U – образной формы из нержавеющей стали, с последующим механическим отделением пористого слоя от подложки, его измельчением в изопропиловом спирте в ультразвуковой ванне и сушкой в естественных условиях, при этом в качестве электролита используют раствор плавиковой кислоты в изопропиловом спирте с добавкой 20% по объему перекиси водорода (30 %). Технический результат - увеличение скорости травления монокристаллического кремния.