Газовый сенсор

Полезная модель относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств, а более конкретно к газовым сенсорам, и может найти применение в измерительной технике для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе. Технический результат - повышение селективности и стабильности работы сенсора. Сущность полезной модели заключается в том, что диэлектрическая подложка, в которой с помощью сквозной перфорации сформирована рабочая область, на одной из сторон которой расположен тонкопленочный чувствительный элемент, связанный платиновыми пленочными дорожками с информационными контактными площадками, а на другой стороне - тонкопленочный нагревательный элемент, связанный с контактными площадками нагревателя, помещается в керамический корпус в горизонтальном положении. Благодаря горизонтальному расположению рабочей области сенсора обеспечивается равномерный нагрев всех участков газочувствительного элемента и, тем самым, высокая селективность сенсора.