Способ акустического мониторинга электронно-пучковой технологии поверхностного легирования в вакуумных камерах

Изобретение относится к машиностроению, преимущественно к термической обработке металлов и сплавов в вакуумной камере электронными пучками в виде коротких импульсов, и может быть использовано для мониторинга результирующих показателей процесса термической обработки. Техническим результатом является сокращение времени освоения технологии обработки новых материалов и повышение точности настройки режимов работы технологического оборудования, определяющих параметры электронных импульсов и эффективность их воздействия на поверхность детали, и повышение качества продукции электронно-пучковой обработки. Поставленная задача решается, а заявленный технический результат достигается тем, что в способе мониторинга структурных, фазовых и химических преобразований в приповерхносном слое обрабатываемых объектов в вакуумных камерах под воздействием электронно-пучковых импульсов, заключающемся в присоединении к обрабатываемому объекту гибкого волновода, выходящего за пределы вакуумной камеры через ваку