Автоэмиссионная ячейка на эмиттер из графена, полученного плазменным травлением карбида кремния

Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для отображения и визуализации информации, а также излучения света. При этом автоэмиссионая ячейка на основе наноразмерного углеродного материала состоит из подложки, выполненную из карбида кремния, поверхность которой была модифицирована в виде остроконечных конусов, верхний слой которых преобразован в наноразмерный слой углерода, за счет чего были сформированы острия эмиссии, которые выступают в качестве эмиттирующего участка получаемого устройства. Технический результат предлагаемой полезной модели состоит в создании высокоэффективной автоэмиссонной ячейки за счет повышения плотности автоэмиссионного тока, временной стабильности параметров катода и уменьшения работы выхода электронов с поверхности катода, а также уменьшения потребления энергии, благодаря применению современных методик и материалов наноэлектроники. 2 ил.