Автоэмиссионная ячейка на основе наноразмерного углеродного материала

Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для отображения и визуализации информации, а также излучения света. При этом автоэмиссионая ячейка на основе наноразмерного углеродного материала состоит из подложки, выполненной из полупроводникового материала, со сформированным изоляционным слоем, выполненным из диэлектрического материала, а также контактного слоя, выполненного из проводящего материала и верхняя часть которого преобразована в столбчатую структуру, на котором выращивается пленка наноразмерной углеродной структуры, которая выступает в качестве эмиттирующего участка получаемого устройства. Технический результат предлагаемой полезной модели состоит в создании высокоэффективной автоэмиссонной ячейки за счет повышения плотности автоэмиссионного тока, временной стабильности параметров катода и уменьшения работы выхода электронов с поверхности катода. 2 ил.