Способ получения многослойного термодинамически стабильного износостойкого покрытия (варианты)

Изобретения относятся к способам нанесения термодинамически стабильных и износостойких покрытий для упрочнения поверхности инструмента и пар трения при обработке материалов с низкой теплопроводностью, особенно в операциях резания, вызывающих повышение температуры. Ионную очистку подложки проводят дуговым испарителем, затем наносят на подложку согласно первому варианту способа подслой Ti методом вакуумно-дугового испарения. Согласно второму варианту способа наносят на подложку подслой Zr методом магнетронного распыления (МР). При осаждении чередующегося слоя Zr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 30-50 нм, МР проводят при работающих двух Zr и двух Al мишеней при N2=5-10 % и вращающейся подложке не менее 40-50 мин. При осаждении чередующегося слоя Zr1-xAlxN с Ø кристаллитов 60-100 нм МР проводят при N2=12-15 % в течение 10-20 мин. Осаждение чередующихся слоёв повторяют не менее двух раз и верхним наносят слой Zr1-xAlxN с Ø кристаллитов 30-50 нм. Обеспечивается получение покрытия с высокими износостойкими, физико-механическими, термически стабильными свойствами и высокой адгезионной прочностью подслоя с материалом подложки и между слоями. Создано в рамках проекта FSNM-2020-0026.