РИД
№ 621100500090-8Фоточувствительная к инфракрасному излучению структура и способ ее изготовления
05.10.2021
Изобретение относится к инфракрасной технике и технологии изготовления устройств инфракрасной техники, конкретно – к фотоприемным устройствам инфракрасного диапазона длин волн и технологии их изготовления. Сущность изобретения состоит в том, что в барьерной фоточувствительной к инфракрасному излучению структуре, включающей подложку (слой 1), расположенный на подложке поглощающий слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,22-0,4 толщиной 2-4 мкм (слой 2), расположенный на поглощающем слое барьерный слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,6-0,7 толщиной 0,2-0,5 мкм (слой 3), расположенный на барьерном слое контактный слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,22-0,4 толщиной 1-2 мкм (слой 4), на контактном слое располагается пассивирующий слой (слой 5), а металлический полевой электрод из In (слой 6) нанесен на поверхность пассивирующего слоя, причём геометрические размеры полевого электрода (слой 6) выбирают таким образом, чтобы минимальное расстояние от края полевого электрода до края площадки, ограничивающей область фоточувствительной структуры, было бы равно 1,0-1,2 мкм.
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Ключевые слова
ИНФРАКРАСНЫЙ ДЕТЕКТОР
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
ПОРОГОВЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
СВЕРХРЕШЕТКА
УНИПОЛЯРНАЯ БАРЬЕРНАЯ СТРУКТУРА
ФОТОДИОД
ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ДИАГРАММА
Детали
Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Инфракрасной техника, технологии изготовления устройств инфракрасной техники, фотоприемные устройства инфракрасного диапазона длин волн и технологии их изготовления.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
Заказчик
Российский научный фонд
Похожие документы
Фоточувствительная к инфракрасному излучению структура и способ ее изготовления
0.967
РИД
Фоточувствительная к инфракрасному излучению структура и способ ее изготовления
0.963
РИД
Инфракрасный фоточувствительный элемент
0.941
РИД
Инфракрасное фотоприемное устройство микросборной конструкции
0.925
РИД
Гибридный фотодетектор среднего ИК диапазона на основе ближнепольной связи локализованных фононных-поляритонов с электронной подсистемой полупроводниковых GaAs/AlGaAs квантовых ям
0.912
РИД
Фотодетектор ближнего инфракрасного диапазона на основе поверхностного плазмонного резонанса
0.910
РИД
Фотоприемные устройства коротковолнового инфракрасного диапазона с фотокатодом на основе гетероструктур InP/InGaAs/InP
0.910
Диссертация
Быстродействующий фотоприемник для ближнего ИК-диапазона на основе гетероструктуры GaSb/GaAlAsSb
0.909
РИД
Полупроводниковая гетероструктура метаморфного буферного слоя на подложке фосфида индия
0.903
РИД
Фотоприемник для регистрации инфракрасного излучения в области 10,6 мкм
0.903
РИД