Результаты магнетронного напыления пленки алюминия на поверхность титанового сплава ВТ6

База данных предназначена для хранения и систематизации экспериментальных данных по влиянию ионной имплантации на свойства титановых сплавов. База данных содержит массив экспериментальных данных по результатам магнетронного напыления пленки алюминия на поверхность титанового сплава ВТ6: зависимость максимальной концентрации алюминия в ионно-легированном слое от величины флюенса имплантации; результаты влияния ускоряющего напряжения на концентрацию примесных атомов алюминия в ионно-легированном слое ВТ6; результаты влияния флюенса облучения ВТ6 алюминием на толщину ионно-легированного слоя; зависимость скорости осаждения алюминия на титановую подложку от подводимой мощности при расстоянии между мишенью и подложкой; зависимость скорости осаждения алюминия от давления в рабочей камере при мощности 3 кВт и расстояния между мишенью и подложкой 50 мм; распределение толщины покрытия алюминия по поверхности подложки ВТ6; зависимость шероховатости поверхности алюминиевых покрытий от плотности мощности на мишени; результаты влияния флюенса имплантации титана на содержание алюминия в ионно-легированном слое; результаты влияния флюенса имплантации титана в пленку алюминия на средний размер зерен формируемых интерметаллидных фаз и их конгломератов.