Датчик для измерения деформации на магнитостатических волнах

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в медицине, приборостроении и машиностроении для измерения деформации. Техническим результатом настоящего изобретения является повышение чувствительности датчика на магнитостатических волнах к малым значениям силы и повышение точности измерений деформации контролируемого объекта. Технический результат достигается тем, что датчик для измерения деформации на магнитостатических волнах содержит два идентичных по структуре чувствительных элемента, расположенных ровно напротив друг друга, и упругий элемент с противолежащими силовоспринимающими основаниями, в которых установлен выполненный в виде металлической пластины упругодеформируемый экран, проходящий между двумя чувствительными элементами и изгибающийся в сторону одного из чувствительных элементов. Чувствительные элементы включают в себя подложку, выполненную на основе гадолиний-галлиевого граната, эпитаксиально выращенный на ней слой материала, в котором распространяются магнитостатические волны, например железо-иттриевого граната, магниты, выполненные в виде магнитных пластин, и преобразователи электрических сигналов в магнитостатические волны в виде полосковых антенн и по меньшей мере двух пар электродов. Антенна и пары электродов располагаются на слое материала, в котором распространяются магнитостатические волны. Электроды каждой пары расположены по разные стороны от антенны и соединены проводником, причем электроды, находящиеся с одной стороны от антенны одного чувствительного элемента, располагаются на том же уровне друг от друга и от антенны, что и соответствующие электроды другого чувствительного элемента, а электроды, находящиеся по другую сторону от антенны одного чувствительного элемента, смещены относительно уровня соответствующих электродов другого чувствительного элемента. Магнит каждого чувствительного элемента выполнен в виде двух магнитных пластин, установленных на торцах чувствительного элемента параллельно антенне и электродам и соединенных между собой магнитопроводом, при этом чувствительные элементы расположены на кронштейне, соединенном с одним из оснований упругого элемента, а упругодеформируемый экран имеет сквозные отверстия, выполненные ровно напротив полосковых антенн, электродов и магнитных пластин.