Узел нагрева и позиционирования подложек

Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при проектировании и изготовлении исследовательских установок осаждения функциональных тонкопленочных слоев различными методами ионно-плазменного распыления, термического, электроннолучевого и лазерного испарения. Технический результат состоит в возможности одновременного осаждения слоев в идентичных условиях на несколько подложек, находящихся при различной температуре. Поставленная цель достигается установкой на вращающуюся планшайбу УНПП нескольких держателей подложек со встроенными нагревателями, температура которых задается и поддерживается индивидуально. Предложенная конструкция дает возможность получения за один цикл осаждения полной информации о температурной зависимости скорости осаждения, структуры и функциональных характеристик осаждаемых слоев.