Распылительный магнетрон

Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при изготовлении планарных распылительных магнетронов различной мощности. Технический результат состоит в упрощении конструкции магнетрона, повышении надежности его работы, а также в наличии возможности оперативной замены магнитной системы для распыления мишеней различного размера. Техническим результатом, обеспечиваемым полезной моделью, является упрощение конструкции магнетрона и повышение надежности его работы. Поставленная цель достигается существенным уменьшением количества и сложности деталей магнетрона, отсутствием в горячей зоне резиновых или полимерных уплотнителей, трубок, паяных соединений, имеющих выход в вакуумную камеру. Основой магнетрона является электрически изолированный от установочного фланца водоохлаждаемый медный вакуумный ввод, на который устанавливаются магнитная система, корпус и верхняя крышка магнетрона. Дополнительным преимуществом такой конструкции является возможность распыления на одном магнетроне мишеней различных размеров путем простой замены магнитной системы и прижимного кольца.