Установка для вакуум-термического нанесения металлических слоев на низкотемпературные подложки

Настоящая полезная модель относится к области тонкопленочной технологии и предназначена для нанесения металлических слоев на термически нестабильные материалы. Полезная модель обеспечивает возможность напыления металлических слоев с исключением перегрева подложки, что имеет принципиальное значение для термически нестабильных подложек. Техническим результатом полезной модели является возможность перемещения подложки над сублимирующим источником в течение достаточно короткого времени, тем самым предупреждая их перегрев. Технический результат достигается за счет того, что установка для вакуум-термического нанесения металлических слоев на низкотемпературные подложки, содержащая вакуумную камеру, выполненную из кварцевой трубы снабженной крышкой с резиновым кольцом и установленную на стальной опорной плите через уплотнительное резиновое кольцо, на опорной плите размещены четыре опорные стойки с закрепленным на них испарителем с сублимирующим источником внутри него и подложкой, причем D >> l, где: D – линейные размеры сублимирующего источника и подложки, а l – расстояние между ними, причем в крышке вакуумной камеры закреплен шток с помощью вакуумного уплотнения, с возможностью вращения и вертикального перемещения, на нижнем конце штока закреплен подложкодержатель, выполненный из графита в виде диска, по периферийной части которого по кругу размещены окна, выполненные с выступами для размещения в них подложек, испаритель содержит сублимирующий источник, выполненный в виде зигзагообразной пластины из испаряемого металла размещенный на молибденовой пластине через керамические прокладки, корпус испарителя выполнен из молибдена и снабжен юстировочными винтами.