Разработка технологии получения нитрида алюминия с высокими эксплуатационными характеристиками плазмохимическим синтезом

Изобретение относится к области порошковых керамических материалов, а именно к способу получения нитрида алюминия плазмохимическим синтезом для создания подложек с высокой теплопроводностью для элементов полупроводниковых приборов. При реализации способа используют порошок алюминиевого сплава с содержанием алюминия. Порошок алюминия размером 50-200 нм равномерно подают в аргоновую плазму (температура порядка 10 000 °С) одновременно с подачей газообразного аммиака. Порошок алюминия расплавляется, аммиак термически разлагается на азот и водород, происходит реакция алюминия с азотом с образованием сферического нитрида алюминия. Наноразмерный порошок алюминия необходим для протекания реакции образования нитрида алюминия по всему объему порошковой частицы. Технический результат изобретения – получение высокочистого нитрида алюминия с возможностью создания подложек с теплопроводностью более 200 Вт/м·К.