Автоэмиссионная ячейка на основе наноразмерного углеродного материала

Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для анализа протекания процессов, отображения и визуализации информации, а также излучения света. При этом автоэмиссионная ячейка на основе наноразмерного углеродного материала состоит из подложки, выполненной из полупроводникового материала, со сформированным на ней изоляционным слоем, выполненным из диэлектрического материала, контактного слоя, выполненного из проводящего материала и верхняя часть которого преобразована в столбчатую структуру, на котором выращивается пленка наноразмерной углеродной структуры, которая выступает в качестве эмиттирующего участка получаемого устройства. Технический результат предлагаемой полезной модели состоит в создании высокоэффективной автоэмиссонной ячейки за счет повышения плотности автоэмиссионного тока, временной стабильности параметров катода и уменьшения работы выхода электронов с поверхности катода