Ионизационный сенсор газа на основе вертикально-ориентированных углеродных наноструктур

Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для детектирования и измерения параметров воздушной среды, а также макроскопических информационных систем. При этом ионизационный сенсор газа на основе вертикально-ориентированных углеродных наноструктур состоит из полупроводниковой подложки, диэлектрического слоя с нанесенным на нее контактным слоем в виде столбчатой структуры из проводящего материала, обеспечивающего контакт к аноду из пленки углеродной наноструктуры, верхней крышки, выполненной из полупроводникового материала, опор, выполненных из диэлектрического материала, обеспечивающих зазор для циркуляции газа, на верхней крышке формируется катод из проводящего материала, отличающийся тем, что между полупроводниковой подложкой и контактным слоем из проводящего металла сформирован дополнительный слой из диэлектрического материала, который является частью общего диэлектрического каркаса сенсора с опорами для циркуляции газовых веществ. Технологический результат достигается за счет создания дополнительного электрического сопротивления, которое препятствует прониканию электронов из внешней среды в виде электрических наводок в микросхеме, что в свою очередь повысит селективность работы газового сенсора. 3 ил.