РИД
№ 622101200024-2

Способ генерации низкотемпературной плазмы в узких протяженных металлических трубках

12.10.2022

Изобретение относится к плазменной технике, а точнее, к средствам для генерации низкотомпературной плазмы в узких протяженных металлических трубках посредством газового разряда в среднем вакууме
ГРНТИ
29.27.43 Газовый разряд
Ключевые слова
НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА
ГЕНЕРАЦИЯ
ПЛАЗМА
ФОРВАКУУМНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Изобретение может использоваться для генерации низкотомпературной плазмы
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ