Газоаналитический мультисенсорный чип на основе графена и способ его изготовления

Газоаналитический мультисенсорный чип на основе графена включает диэлектрическую подложку, на которой сформированы слой газочувствительного материала в виде перфорированного слоя карбоксилированного графена с содержанием карбоксильных групп от 8 ат. % до 12 ат. %, которые ковалентно связаны с графеновой решеткой. 7. Способ изготовления газоаналитического мультисенсорного чипа включает нанесение на поверхность диэлектрической подложки набора компланарных полосковых электродов из благородного металла, нагревателей и терморезисторов, формирование по меньшей мере на части поверхности электродов и на поверхности подложки между электродами слоя газочувствительного материала, формируемого фотохимической модификацией оксида графена с получением карбоксилированного графена с содержанием карбоксильных групп от 8 ат. % до 12 ат. %, ковалентно связанных с краями графеновой решетки. Газоаналитический мультисенсорный чип имеет повышенную чувствительность и селективность распознавания газов без необходимости нагрева газочувствительного слоя и упрощенный способ его изготовления. 2 н.п., 11 з.п., 14 илл.