Способ получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати

Изобретение относится к способу получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати на поверхности подложек различной природы при термической обработке слоя нанесённой пасты. Может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании структур на основе оксида индия-олова, в том числе сложной геометрии. Предложен способ получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова, заключающийся в том, что готовят раствор нитрата индия и хлорида олова в дистиллированной воде с общей концентрацией катионов металлов 0,001-0,1 моль/л, при этом исходят из мольного содержания диоксида олова в продукте в диапазоне 5-15 %, далее в систему при перемешивании добавляют водный раствор гидрата аммиака до достижения системой pH = 7, после чего с помощью центрифугирования отделяют и промывают образующийся полупродукт, который далее подвергают сушке при 70°С до прекращения потери массы и дополнительной термообработке при температуре 300-600°С в течение 0,5-10 часов, после чего порошок измельчают и диспергируют в α-терпинеоле в присутствии этилцеллюлозы, массовая доля твердой фазы в получаемых функциональных чернилах составляет 5-35%, нанесение плёнки чернил на поверхность подложки осуществляют методом микроэкструзионной печати с использованием в качестве диспенсера иглы с внутренним диаметром 100-300 мкм при скорости его перемещения 50-500 мм/мин с шагом 50-500 мкм и длительностью импульса при дозировании чернил 0,1-1,0 с, сушку полученного покрытия проводят при 25°С в течение 12 часов на воздухе, после чего проводят термическую обработку пленки при 300-600°С в течение 0,5-24 часов. Изобретение за счёт отсутствия необходимости нанесения нескольких слоёв материала обеспечивает упрощение способа получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова и, как следствие, повышение его экономичности; позволяет воспроизводимо и адресно формировать оксидные плёнки различной геометрии, что расширяет области их применения; даёт возможность автоматизировать и повысить скорость процесса формирования толстых плёнок на основе оксида индия-олова. 1 н.з.п. ф-лы, 5 илл., 10 пр.