Распылительное устройство

Изобретение относится к устройствам для осаждения покрытий на изделия в вакуумной камере, в том числе покрытий из ферромагнитных материалов. Технический результат – расширение эксплуатационных возможностей за счет повышения эффективности использования материала мишени, а также возможности распылять мишени из ферромагнитных материалов. Распылительное устройство, содержит плоскую круглую мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, вакуумную камеру, являющуюся анодом тлеющего разряда, источник питания тлеющего разряда, соединенный отрицательным полюсом с мишенью, а положительным полюсом – с вакуумной камерой, плоскую металлическую сетку, установленную параллельно распыляемой поверхности мишени и источник постоянного напряжения, соединенный отрицательным полюсом с сеткой, а положительным полюсом – с вакуумной камерой. На фиг. 1 показана схема распылительного устройства. 1 ил.