Программный комплекс для управления режимами работы источника плазмы

Программа предназначена для автоматизированного управления широкоапертурным источником плазмы низкого давления. Программа может использоваться в установках плазменного напыления и травления материалов микроэлектроники. Тип ЭВМ: PC. ОС: Windows 7 и выше. Функциональные возможности: ПО позволяет через интерфейс USB посредством графического интерфейса управлять работой широкоапертурного источника плазмы, а именно управлять включением источника, регулировать мощность, контролировать давление буферного газа в рабочем реакторе, управлять массовым расходом буферного газа через источник, выводить на экран статус текущего состояния источника. При этом программное обеспечение циклически опрашивает датчики давления, расхода, температуры, сравнивает с допустимыми значениями, сигнализируя о выходе контролируемых параметров за границы допустимых значений.