РИД
№ 623021500070-6Диффузионный насос
15.02.2023
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума. Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины.
Диффузионный насос, состоящий из вертикально установленного металлического корпуса, выполненного за одно целое с ванной для рабочей жидкости и зафиксированных в нем входного фланца и выпускного патрубка, установленного в нижней части корпуса многоступенчатого паропровода с зонтичными соплами в центральной части по оси корпуса, воронки, зафиксированной в нижней части корпуса, где установлен многоступенчатый паропровод, отверстие которой, имеющее меньший диаметр, обращено к диску для формирования пленки рабочей жидкости и служит входным отверстием паропровода и сливным отверстием гидрозатвора, диска для формирования рабочей пленки, выполненного монолитным и герметично закрепленного на верхнем торце ванны для рабочей жидкости, на нижней части которого зафиксирован электрический нагреватель изолированный теплоизоляцией, отличающийся тем, что на торцевой поверхности диска для формирования рабочей пленки h = 2lσ закреплен кольцевой бортик, где lσ – капиллярная постоянная.
Технический результат – увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины.
ГРНТИ
61.13.19 Диффузионные процессы. Мембранные процессы
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
вакуумный насос
диффузия
вакуум
Детали
Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума и может быть использовано в химической, нефтехимической промышленности и на предприятиях производящих микроэлектронику.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
Заказчик
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
Похожие документы
Диффузионный паромасляный насос
0.978
РИД
Устройство для испарения жидкости
0.898
РИД
Диффузионный аппарат непрерывного действия
0.894
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ЖИДКОСТИ
0.890
РИД
Жидкостно-кольцевая машина
0.886
РИД
Пульсационный аппарат для проведения массобменных и реакционных процессов в однофазных и многофазных средах
0.886
РИД
Контактная тарелка массообменной колонны
0.886
РИД
Двухфазный термосифон
0.886
РИД
Пленочный тепломассообменный аппарат
0.885
Промышленная инновация
МАССООБМЕННОЕ КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО
0.885
Промышленная инновация