РИД
№ 623021500070-6

Диффузионный насос

15.02.2023

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума. Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины. Диффузионный насос, состоящий из вертикально установленного металлического корпуса, выполненного за одно целое с ванной для рабочей жидкости и зафиксированных в нем входного фланца и выпускного патрубка, установленного в нижней части корпуса многоступенчатого паропровода с зонтичными соплами в центральной части по оси корпуса, воронки, зафиксированной в нижней части корпуса, где установлен многоступенчатый паропровод, отверстие которой, имеющее меньший диаметр, обращено к диску для формирования пленки рабочей жидкости и служит входным отверстием паропровода и сливным отверстием гидрозатвора, диска для формирования рабочей пленки, выполненного монолитным и герметично закрепленного на верхнем торце ванны для рабочей жидкости, на нижней части которого зафиксирован электрический нагреватель изолированный теплоизоляцией, отличающийся тем, что на торцевой поверхности диска для формирования рабочей пленки h = 2lσ закреплен кольцевой бортик, где lσ – капиллярная постоянная. Технический результат – увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины.
ГРНТИ
61.13.19 Диффузионные процессы. Мембранные процессы
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
вакуумный насос
диффузия
вакуум
Детали

Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума и может быть использовано в химической, нефтехимической промышленности и на предприятиях производящих микроэлектронику.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
Заказчик
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»