СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭМИТИРУЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ АВТОЭМИССИОННЫХ КАТОДОВ

Изобретение относится к области электроники, в частности, к способам изготовления автоэмиссионных катодов на основе углеродных наноматериалов. Технический результат заключается в улучшении стабильности эмиссии и увеличении эмиссионного тока посредством увеличения однородности формируемой структуры за счет удаления агломератов восстановленного оксида графена и углеродных нанотрубок при центрифугировании суспензии, увеличении адгезии углеродных нанотрубок к поверхности и уменьшения контактного сопротивления между углеродными нанотрубками и подложкой из-за сваривания углеродных нанотрубок со слоем восстановленного оксида графена, который приварен к подложке. Способ формирования эмитирующей поверхности автоэмиссионных катодов включает изготовление суспензии восстановленного оксида графена и суспензии углеродных нанотрубок, центрифугирование суспензии восстановленного оксида графена, формирование слоя восстановленного оксида графена путём нанесения его суспензии на нагретую подложку и облучение в вакууме сформированного слоя восстановленного оксида графена лазерным излучением в импульсном режиме, центрифугирование суспензии углеродных нанотрубок, нанесение суспензии углеродных нанотрубок на нагретую подложку со слоем восстановленного оксида графена с последующим облучением в вакууме сформированного слоя лазерным излучением в импульсном режиме.