Устройство для послойного синтеза покрытий из труднорастворимых соединений на поверхности подложек

Настоящее изобретение относится к области нанотехнологии, а именно, к ее разделу, который занимается получением наноразмерных покрытий на поверхности широкого круга подложек и может найти применение при создании различного типа функциональных наноматериалов, находящих применение в электрохимической энергетике и сенсорике, электронной и оптической промышленности и т.д. Предложенные конструкции установок позволяют существенно снизить затраты на проведение послойного синтеза таких покрытий за счет снижения расхода растворителей и реагентов, а также провести его в автоматизированном режиме в течение 100 и более циклов обработки.