РИД
№ 623030700014-0

Диффузионный паромасляный насос

07.03.2023

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума. Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости и увеличение наибольшего выпускного давления за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины. Диффузионный паромасляный насос состоит из вертикально установленного цилиндрического корпуса, и зафиксированных в нем входного и выпускного патрубка, многоступенчатого паропровода с зонтичными соплами в центральной части по оси корпуса, гидрозатвора, зафиксированного на внешней стороне днища нагревателя, рубашки охлаждения, и кольцевых протоков образующихся между пакетом лабиринтных колец ступенчато сопряженными между собой с уменьшением толщины днища от периферии к центру, создавая ступенчатую конструкцию днища, отличающийся тем, что отверстия в лабиринтных кольцах расположены на высоте h = 2lσ для формирования пленки рабочей жидкости высотой h = 2lσ. Технический результат – уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости и увеличение выпускного давления.
ГРНТИ
61.13.19 Диффузионные процессы. Мембранные процессы
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
вакуумный насос
диффузия
вакуум
Детали

Тип РИД
Полезная модель
Сферы применения
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума и может быть использовано в химической, нефтехимической промышленности и на предприятиях производящих микроэлектронику.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»