СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЛОЖНЫХ ОКСИДНЫХ СИСТЕМ ИЗ СУХОГО НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ПОРОШКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ

Изобретение относится к способу изготовления тонких пленок (0,1 –100 мкм) сложных оксидных систем, и может быть использовано при изготовлении различных электрохимических устройств: твердооксидных топливных элементов, твердотельных аккумуляторов и т.п. Техническим результатом данного изобретения является повышение плотности, равномерности плотности, ионной и/или электронной проводимости формируемых пленок сложных оксидных систем, уменьшение температуры спекания, увеличение производительности осаждения. Технический результат достигается тем, что формирование пленок происходит путем распыления аэрозоля с сухим нанокристаллическим порошком с размером кристаллита до 100 нм, собранным в мягкие агломераты размером до 100 мкм, на подложку в условиях низкого вакуума (100 – 1000 Па) и комнатной температуры.