Ионно-оптическая система источника ионов.

Изобретение относится к области техники источников ионных пучков высокой интенсивности, а именно к ионно-оптическим системам таких источников ионов, предназначенных для работы в стационарном режиме. Техническим результатом является повышение надежности процессов формирования ионных пучков высокой интенсивности и большой длительности в условиях больших тепловых нагрузок. Ионно-оптическая система источника ионов состоит из опорного фланца, на котором на стойках-изоляторах расположены плазменный, ускоряющий и заземленный электроды, каждый из которых содержит множество щелевых отверстий. Электроды разбиты на сегменты. В щелевых отверстиях-апертурах формируется ионный пучок, а в перемычках между щелями расположены каналы системы охлаждения. Многоапертурные сеточные сегменты уплотнены к общему держателю и являются коллектором для подачи и слива охлаждающей жидкости для сеточных сегментов электрода. Подведение охлаждающей жидкости к коллекторам осуществляется через трубки, пролегающие внутри стоек-изоляторов, на которые через регулировочные шайбы опираются держатели электродов.