Способ электроосаждения сплошных осадков кремния из расплавленных солей

Использование: относится к способам получения сплошных осадков кремния для использования в качестве фоточувствительных материалов, устройств микроэлектроники и накопления энергии. Сущность: Способ электроосаждения сплошных осадков кремния из расплавленных солей, включающий электролиз при температуре в инертной атмосфере галогенидного расплава из смеси солей (мас.%): 15-45 – хлорида калия (KCl); 50-80 – хлорида цезия (CsCl); 0.5-20 – гексафторсиликата калия (K2SiF6), при этом электролиз расплава ведут при температуре от 620 до 650°C в импульсном потенциостатическом режиме с многократным периодическим наложением катодного перенапряжения на рабочий электрод величиной от 0.05 до 0.30 В длительностью от 2 до 100 мс. Технический результат: электролитическое получение микроразмерных пленок кремния при снижении температуры электроосаждения и уменьшении химической агрессивности расплава за счет понижения содержания фторидов в расплаве.