Способ передачи ВЧ-мощности в источник плазмы (Регистрация Заявки на изобретение № 2023129122)

Изобретение относится к области плазменной техники, в частности к мощным ионным источникам c плазменным высокочастотным источником ионов и может использоваться в инжекторах атомарных пучков. Технический результат предложенного способа передачи ВЧ-мощности в источник плазмы заключается в увеличении передаваемой ВЧ-мощности в нагрузку, а также снижении напряженности электрического поля на концах антенны, и тем самым исключения пробоя на антенне при большой передаваемой мощности. Поставленная задача решается с помощью симметричного подключения ВЧ-антенны. ВЧ-мощность подают на резонансный контур ВЧ-антенны от изолирующего ВЧ-трансформатора со средней точкой на вторичной обмотке. При этом экраны подводящих кабелей подключают к средней точке контура ВЧ-антенны. Конденсаторы резонансного контура подключают между средней точкой контура и выводами ВЧ-антенны.