Плазматрон с системой многоканальной подачи реагентов и регулирования объёма плазмы

Полезная модель относится к плазменной технологии обработки материалов, а именно, к источникам получения и управления потоком плазмы атмосферного давления и системам газораспределения. Может быть использовано в различных областях науки и техники для получения тонких плёнок и порошков различных материалов, а также для модификации, очистки и обеззараживания различных поверхностей в микроэлектронике, оптике, микробиологии и медицине. Полезная модель использует плазматрон с такой газораспределительной системой, которая представляет собой цельное герметичное изделие (бесшовное), позволяющее одновременно подавать до пяти реагентов (газов), пропуская их через центральный электрод, и контролировать время нахождения реагентов в плазменной области за счёт изменения размеров плазменной области, технически реализуемое перемещением центрального электрода вдоль вертикальной оси.