Многофункциональный подложкодержатель для пластин, используемый при изготовлении монолитных интегральных схем

Полезная модель относится к области микроэлектроники. Устройство может быть использовано для проведения большинства технологических операций (например, фотолитография, реактивно-ионное травление, плазмохимическое травление, осаждение плёнок методами PECVD). Использование данного устройства позволяет выпускать кремниевые чипы без перестройки технологического оборудования. Таким образом, обеспечивается возможность работы с пластинами, имеющими разный диаметр. Также обеспечивается возможность работы с отдельными кристаллами (фрагментами пластин). В результате использования предлагаемого устройства увеличивается надежность при сохранении механической целостности пластин или их фрагментов в процессах их обработки, расширяется перечень доступных для проведения технологических операций, обеспечивается возможность безопасной транспортировки образцов, обеспечивается возможность групповой обработки пластин или их фрагментов. Данный результат достигается за счёт использования в конструкции многофункционального подложкодержателя следующих элементов: фаска по внешнему диаметру, множество пазов, формы которых соответствуют формам удерживаемых пластин или фрагментов пластин; в областях пазов выполнено множество отверстий.