Магнетронная распылительная система с саморегулирующимся магнитным полем

12.12.2023

Магнетронная распылительная система на постоянных магнитах с саморегулирующимся магнитным полем над катодом. Полезная модель относится к плазменной технике, предназначена для нанесения покрытий посредством магнетронного распыления материала и может быть использована в машиностроении, оптике, электротехнической и других областях промышленности. Принцип работы основан на перераспределении магнитного потока между двумя контурами при изменении магнитного сопротивления катода. Магнитная система представляет собой два соосных магнитопровода (поз. 4 и 5), в зазоре между которыми установлены магниты (поз. 3) с радиальным направлением намагниченности. Катод (поз. 1) и шунт (поз. 2) установлены с противоположных торцов магнитной системы.

ГРНТИ

47.29.33 Газоразрядные приборы и устройства

55.22.19 Металлические покрытия

Ключевые слова

магнетронная распылительная система

магнетрон

катодное распыление

коэффициент использования материала

ферромагнетики

Детали

НИОКТР

№ 123011600100-5

Тип РИД

Полезная модель

Сферы применения

Устройство применяется для нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме. Позволяет работать с катодами, обладающими различными магнитными свойствами, на одном устройстве без внесения изменений в его конструкцию. Возможные области промышленности: микроэлектроника, оптика, биомедицина

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ВАКУУМ СПАТТЕРИНГ СИСТЕМС"

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"

Похожие документы

Магнетронная распылительная система

0.955

РИД

Магнетронное распылительное устройство

0.934