Система прецизионного автоматического позиционирования подложек вакуумной установки магнетронного распыления

Полезная модель относится к плазменной технике и предназначена для получения тонкопленочных покрытий с различными характеристиками на различных подложках. Полезная модель может быть использована в электронике, оптике, нанотехнологиях, машиностроении. Задачей разработанной полезной модели является автоматическое прецизионное позиционирование подложек с малым углом поворота в вакуумной камере магнетронной распылительной установки, для повышения точности напыления и возможности физического изменения текстуры и свойств тонких пленок за счет изменения угла наклона подложки относительно магнетрона. Указанный технический результат при реализации полезной модели достигается тем, что в установку магнетронного распыления, содержащей вакуумную камеру, магнетронную распылительную систему и распыляемую мишень установлен через вакуумный ввод, состоящий из вала, подшипников и уплотнительных сальников, привод шагового двигателя с редуктором, управляемый через драйвер шагового двигателя, особенностью является то, что драйвер шагового двигателя управляется с компьютера через промышленный помехозащищенный интерфейс Modbus RTU, при этом на компьютере выполняется программа, которая математически вычисляет текущее положение двигателя относительно нуля и дает управляющие команды драйверу шагового двигателя и позволяет пользователю через графический интерфейс программы задать любое положение выбранной подложки относительно выбранного магнетрона с высокой точностью. Предложенная система прецизионного автоматического позиционирования подложек позволяет с точностью 0,0055° позиционировать подложки и изменять угол наклона относительно магнетронов автоматически из окна программы.