РЕЗИСТИВНЫЙ ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОКСИДНОЙ ПЛЕНКИ

Предлагаемая полезная модель относится к областям производства изделий микро- и наноэлектроники и может применяться устройствах наноразмерного детектирования газов и паров. Резистивный датчик на основе металлоксидной пленки включает в себя подложку из поликора, чувствительный элемент из металлооксидной пленки оксида цинка с примесями оксида олова, который формируется методом низкотемпературного твердофазного пиролиза, а также технологические отверстия для попадания исследуемого газа. Техническим результатом предлагаемой полезной модели является создание резистивного газового датчика на основе металлоксидной пленки.