Разработка прозрачного электрода на основе структуры оксид/металл/оксид

Изобретение относится к области технологических процессов, связанных с нанесением нанопленочных покрытий металлов и оксидов, в частности к магнетронному (реактивному) распылению. Может быть использовано для получения прозрачных проводящих композитных нанопленок на поверхности различных подложек при невысокой температуре. Основным методом нанесения тонких нанопленок этих материалов на подложку было магнетронное распыление. Оксид индия был нанесен методом реактивного магнетронного напыления, что обеспечило высокую чистоту и структурную однородность пленок. Новизна заключается в дополнительной обработке слоя серебра ионами аргона на источнике ионного излучения. Ионное облучение слоя серебра позволило уменьшить шероховатость поверхности, что привело к усилению эффекта просветления. Техническим результатом предлагаемого изобретения является снижение поверхностного сопротивления прозрачных проводящих покрытий и увеличение пропускания композитной структуры оксид/металл/оксид.