Способ комплексного модифицирования поверхности

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к методу образования защитного многослойного покрытия на поверхности деталей энергомашиностроения и может быть использован для получения поверхностных слоев с повышенными эксплуатационными и физико-механическими свойствами. Способ комплексного модифицирования поверхности, включающий откачку воздуха из вакуумной камеры, очистку поверхности изделия и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и формирование покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что перед осаждением покрытия проводят модифицирование поверхностного слоя в виде ионной цементации поверхности изделия, а синтез наноструктурированного покрытия системы Ti-С-Si осуществляется с использованием графитокремниего катода, при одновременном проведении процесса плазменного ассистирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом, создаваемым плазменным источником и генерации разряда с эффектом полого катода, реализованного системой сформированной оптически прозрачной сеткой и подложкой, установленной на расстоянии 7 мм от нее.