Программа аналитического расчета параметров демпфирования подвешенного подвижного электрода электростатического привода высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с емкостным принципом коммутации

В высокочастотных микроэлектромеханических переключателях с емкостным принципом коммутации при электростатической активации электростатического привода подвешенный подвижный электрод перемещается в вертикальной плоскости к нижнему неподвижному электроду, замыкая таким образом линию передачи радиосигнала высокочастотного копланарного волновода. При этом возникают эффекты сжимаемой пленки, присущие большому числу динамических микроэлектромеханических устройств. В высокочастотных микроэлектромеханических переключателя с емкостным принципом коммутации эффекты сжимаемой пленки возникают при параллельном расположении электродов электростатического привода, между которыми при отсутствии постоянного управляющего напряжения присутствует зазор малой величины, заполненный воздушной прослойкой либо прослойкой, состоящей из какого-либо другого инертного газа. По этой причине оценка эффектов сжимаемой пленки необходима для прогнозирования на этапах проектирования динамических характеристик высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с емкостным принципом коммутации. Разработанная программа позволяет выполнять аналитический расчет параметров демпфирования, а именно: 1) коэффициент демпфирования, обусловленное внутренними потерями в структуре и потерями в вязкости в сжимаемой пленке; 2) коэффициент жесткости пластины подвешенного подвижного электрода электростатического привода; 3) коэффициент распределенного давления. При этом расчет параметров демпфирования основан на аналитическом решении линеаризованного уравнения Рейнольдса для определения параметров сжимаемой пленки.