Программа анализа шероховатости поверхностей и боковых стенок линий на микроскопических снимках полупроводниковых элементов

Программа для ЭВМ позволяет проанализировать изображения поверхности топологических элементов интегральных микросхем, полученных с помощью интерференционной микроскопии, растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии. Программа обрабатывает цветные и черно-белые изображения. Цветные изображения должны содержать палитру, на которой расшифровано значения цвета пикселя. Программа имеет интерактивный графический интерфейс и позволяет проводить анализ любой части изображения и прямых линий любого наклона. При Анализ включает в себя оценку неровностей края и толщин линий краев топологических элементов, а также шероховатости линий на поверхности и корреляционной функции. Встроен алгоритм корректировки наклона плоскости стенок, при анализе изображений канавок. Программа написана на языке Python и JavaScript, вывод результатов анализа может быть загружен в формате .png и .csv.