Программный комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения

Программой комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения позволяет осуществлять мониторинг и контроль ряда параметров технологической платформы атомно-слоевого осаждения, а именно мониторинг изменения давления в реакторе считыванием выходных значений вакууметра и конвертированием их в значения давлений, контроль потока технологического газа азота путем управления и считывания значений цифрового расходомера, управление пневмораспределительным блоком соленоидных клапанов для контроля вакуумных пневматических клапанов, что обеспечивает напуск прекурсоров в указанное время и в указанном порядке в реакционную зону технологической платформы атомно-слоевого осаждения.