РИД
№ 624030400049-4

Способ защиты поверхности полупроводниковой пластины при резке на кристаллы

04.03.2024

Способ защиты лицевой части пластины путем нанесения слоя аэрозольного фоторезиста непосредственно перед резкой пластины на отдельные кристаллы
ГРНТИ
29.03.39 Лабораторная электроника
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Ключевые слова
Полупроводниковая пластина
фоторезист
МИС
нитрид галлия
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Секрет производства (ноу хау)
Сферы применения
разработка и производство микроэлектронных устройств
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
Заказчик
Правительство Российской Федерации