Устройство активной виброзащиты

Полезная модель относится к прецизионной электронной измерительной технике, в частности к устройствам виброзащиты, обеспечивающим активное подавление вибраций, действующих на высокоточные микроскопы и прецизионное технологическое оборудование в широком частотном диапазоне. Предлагаемое техническое решение направлено на создание устройства активной виброзащиты по нескольким степеням свободы, характеризующегося низким уровнем низкочастотного шума, с использованием датчиков с малыми габаритами и низкой стоимостью. Технический результат достигается тем, что устройство активной виброзащиты содержит основание, подвижную платформу, выполненную с возможностью размещения на ней защищаемого от вибраций оборудования, которая соединена с основанием посредством упругодеформируемых элементов, упругие силы которых обеспечивают компенсацию веса платформы; три ортогонально ориентированных высокочувствительных широкополосных датчика линейных движений и три ортогонально ориентированных высокочувствительных широкополосных датчика угловых движений, закрепленных на подвижной платформе; актуаторы, обеспечивающие поступательное движение платформы по трем ортогональным осям и актуаторы, обеспечивающие повороты платформы относительно трех ортогональных осей; блок электроники, преобразующий выходные сигналы датчиков в управляющие сигналы для актуаторов; при этом датчики линейных и угловых движений выполнены с использованием жидкостной инерционной массы и молекулярно-электронного чувствительного элемента, преобразующего движение жидкости в электрический сигнал. При этом датчик угловых движений представляет собой герметичный тороид, полностью заполненный электролитом, в канале тороида расположен молекулярно-электронный элемент, чувствительный к движению жидкости; датчик линейных движений представляет собой герметичный полностью заполненный рабочей жидкостью корпус в виде цилиндра, содержащий упругие мембраны в основании и на вершине, с каналом, ориентированным по оси цилиндра, заполненным электролитом и содержащим молекулярно-электронный элемент, чувствительный к движению жидкости.