СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО АКТЮАТОРА

Изобретение относится к области изготовления устройств на основе пьезоматериалов, а именно осесимметричных пьезоэлектрических актюаторов цилиндрического (мембранного) типа исполнения контролируемых осевых радиальных перемещений для использования в микромеханике, управляемой оптике, сенсорной технике, акустике, в частности, при изготовлении пьезоэлектрических акустических элементов – датчиков и излучателей. Техническим результатом является повышение эффективности создаваемого актюатора за счет повышения отношения амплитуды осевых перемещений рабочих участков пьезоэлектрического актюатора к значениям приложенного управляющего напряжения. Для этого при изготовления цилиндрического пьезоэлектрического актюатора осуществляют нанесение двух непрерывных токопроводящих покрытий на верхней и нижней поверхностях тонкого пьезоэлектрического слоя с образованием двух взаимодействующих через слой электродов двухпроводной токопроводящей линии, при этом поперечную поляризацию слоя осуществляют посредством приложения к электродам соответствующего поляризующего электрического напряжения. При этом образуют составную ленту из двух несвязанных между собой протяженных гибких пьезоэлектрических актюаторов ленточного типа с взаимообратными направлениями поляризаций слоев по толщине, потом сворачивают составную ленту в рулон с использованием межслойных адгезионных клеевых прослоек между контактирующими при намотке внешними и внутренними токопроводящими покрытиями составной ленты. В результате образуется монолитный цилиндрический пьезоэлектрический актюатор, включающий в себя сопряженные пьезоэлектрические слои в виде спиралей с чередованием взаимообратных поляризаций слоев по радиальной координате, спиральные электроды и адгезионные клеевые прослойки между электродами. Цилиндрический пьезоэлектрический актюатор может быть разрезан по поперечным сечениям на тонкие диски с образованием мембранных пьезоэлектрических актюаторов со спиралями взаимодействующих электродов для установки на верхней и/или нижней поверхностях рабочей упругой мембраны.