Узел катода магнетронного распылителя с горячей мишенью

Полезная модель относится к технике нанесения металлических покрытий (например, из хрома, титана, циркония и их оксидов, карбидов, нитридов) устройствами с использованием магнитных полей, таких как протяженные магнетронные распылители с горячей мишенью. Технической задачей предлагаемой полезной модели является повышение теплоизоляции мишени узла катода протяженного магнетронного распылителя. Технический результат заключается в расширении области применения и повышения надежности узла катода магнетронного распылителя с горячей мишенью.