РИД
№ 624121900174-3Программа MetroHub автоматизации сбора и анализа измерений параметров кремниевых пластин и тонких плёнок
19.12.2024
Программапредназначенадлясокращениявременииустранения"человеческогофактора"при
проведении измерений на установке FRT MicroProf 200, используемой в микроэлектронном
производстведляизмеренийдеформациипластины,отклонениясреднейточки,толщинплёнок.
Программа поддерживает автоматическое распознавание PDF-протоколов, генерируемых
установкой, и перенос результатов измерений в точках сбора данных, предусмотренных
контрольным планом, в программу MES "Артек". Программа позволяет автоматизировать
любое измерительное оборудование (измерение линейных размеров, рассовмещений, толщин
плёнок металлизации и диэлектрика). Область применения: производство микроэлектроники,
полупроводников.Функциональныевозможности:распознаваниеPDF-протоколовизмерений;
использование программного интерфейса MES Артек; организация и автоматизация
производственного процесса
ГРНТИ
50.47.31 Автоматизированные системы управления дискретными технологическими процессами
Ключевые слова
FRT MicroProf 200
Автоматизация
Детали
НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Кристальное производство
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АЕТЕРНА ТЕХНОЛОГИЯ"
Заказчик
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
Похожие документы
LMicroTech
0.856
РИД
Программа для автоматизированного тестирования кремниевых пластин с чувствительными элементами микромеханических датчиков давления
0.856
РИД
Программное средство автоматизированной обработки и рекомпозиции технологических данных установок плазмохимического травления
0.850
РИД
Программный модуль «Автоматизированная обработка мультиканальных экспериментальных данных сканирующей туннельной микроскопии»
0.847
РИД
Программа автоматического сбора и обработки данных для исследования сверхбыстрой динамики процессов в мультиферроидных и полупроводниковых пленках
0.845
РИД
Программа для автоматизации процесса измерения параметров оптических дисковых микрорезонаторов
0.844
РИД
Программа автоматизации измерения наноструктур Measuring
0.843
РИД
Программа MES производства фотонных интегральных схем "АРТЕК-Фотоника"
0.842
РИД
Программа управления технологическими операциями автоматического монтажа печатных плат на основе введения средств интеллектуального взаимодействия компонентов оборудования
0.841
РИД
Программа для автоматизации параметрического анализа воспроизводимости резистивного переключения мемриcтивных наноматериалов и структур
0.840
РИД