РИД
№ 624122000141-1

Программа автоматизации импульсного лазерного напыления тонких плёнок

20.12.2024

Разработанная программа предназначена для управления процессом импульсного лазерного напыления тонких плёнок в экспериментальной сверхвысоковакуумной камере. Управление осуществляется через контроллер, связанный с лазером, манипулятором с мишенями и заслонкой. Интерфейс программы предусматривает задание параметров работы (частота и число лазерных импульсов, параметры смены, вращения и качания мишеней, позиции заслонки), автоматическое и ручное управление. В автоматизированном режиме управления оператором задается сценарий с учётом введенных параметров осаждения. Отдельные операции по мере их выполнения отображаются в специальном блоке программы. Доступны режимы очистки, калибровки и напыления из четырёх различных молекулярных источников. Также добавлен ручной режим работы, при котором возможно производить управление элементами системы по отдельности. Тип ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК. ОС: Windows 8/10. Язык программирования: Delphi Объем программы для ЭВМ: 1,5 МБ
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
тонкие плёнки
импульсное лазерное напыление
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Для напыления тонких плёнок в экспериментальной сверхвысоковакуумной камере.
Ожидается
Заказчик и Исполнитель совместно
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРАСНОЯРСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программный модуль управления вакуумным оборудованием лабораторной установки аддитивного электронно-лучевого изготовления изделий
0.920
РИД
Программный комплекс для управления режимами работы источника плазмы
0.911
РИД
Программа для управления режимами ионно-плазменной обработки изделий в вакуумной установке
0.910
РИД
Программный модуль управления блоком формирования электронного луча лабораторной установки аддитивного электронно-лучевого изготовления изделий
0.908
РИД
Программа управления распылительной автоматизированной линией
0.907
РИД
Программа для управления установкой атомно-слоевого осаждения.
0.903
РИД
Программа для управления кольцевым планарным магнетроном
0.902
РИД
Программа для автоматизированного управления установкой плазмохимического акватермолиза тяжёлого углеводородного сырья
0.901
РИД
Программа для прецизионной лазерной резки
0.900
РИД
Программный комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения
0.899
РИД