Способ вакуумного плазменного получения гидрофобных слоев нанометровой толщины

Изобретение относится к области модификации поверхности различных материалов, а именно к способам осаждения покрытий. Получаемый технический результат достигается использованием вакуумного плазменного способа получения наноструктурированных гидрофобных слоев, в котором обрабатываемые подложки вынесены из области инициации и горения разряда, а также расположены на подложкодержателе с возможностью задачи и контроля температуры подложек.